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陈维邦: 集成电路与半导体产业开发

时间:2023-06-02来源:材料科学与工程学院

报告时间:2023年6月7日(星期三)14:00-16:00

报告地点:学术会议中心一楼大报告厅

:陈维邦 博士

工作单位:合肥晶合集成电路股份有限公司

举办单位:材料科学与工程学院

报告简介

介绍集成电路与产业的相关性,从基本的元件设计与制造到最后的晶片产生,结合目前产业的先进制程发展,让学生对于所学与业界有更紧密的了解与结合

报告人简介

陈维邦,晶合集成前瞻研发处长,具有先进半导体年资15年,毕业于台湾交通大学,电子工程专业博士学位。

主要专长:High-K Metal Gate, FinFET, Embedded Flash, Device。目前主要负责开发28纳米以下的MOSFET前瞻新技术,如高介电常数材料。(High-K material),多层金属闸极结构(Metal Gate),新式硅锗外沿的源/漏极(SiGe Source/Drain),后段铜金属连接与低介电常数(low-K material)的工艺技术整合。同时也研究电性与制程的关联性,进一步改善,获得效能的增加。(Improve DIBL, GIDL, Femi-level pinning, mobility scattering, S/D engineering, BOEL RxC,Speed-IDDQ, Reliability )。同时与不同模组合作开发新制程与解决不同的制程问题,设计出不同客制化的流程,来符合不同客户对于产品的不同的需求。

研究与荣誉:IEEE IEDM国际会议与IEEE EDL/TED 发表 12篇(一作); 美国专利获证 10篇,中国专利授权18篇;荣获2019中国台湾优秀工程师奖;2021与2022晶合专利发明第一名。


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